一种非互易性声电放大器及其制备方法和应用

本发明公开了一种非互易性声电放大器及其制备方法和应用。本发明的非互易性瑞利波声电放大器的组成包括衬底、AlN/GaN成核层、GaN缓冲层、AlN插入层、ScAlN势垒层、ScAlN声学薄膜、源电极、漏电极、栅电极、叉指换能器和金属互联层，而非互易性兰姆波声电放大器的衬底远离AlN/GaN成核层的那一面还设置有开放空腔和背电极。本发明的非互易性声电放大器可以实现高对比度、可调节的声波非互易性传输，其具有体积小、隔离度高、可集成性好、稳定性高、可靠性高等优点，且能够与ScAlN/GaN射频前端芯片实现单片集成，可以用于射频通信、声波处理、量子计算等领域，适合进行大规模工业化生产和应用。