一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具

本发明公开了一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具，包括底座和机械臂主体，所述底座上端后侧固定连接有支撑台，所述支撑台上端固定连接有支撑柱，所述支撑柱上端固定连接有晶舟盒载物台。本发明中，通过本装置辅助调节机械臂主体输出端固定的插板上的吸盘与晶舟盒载物台的取放位置，可以快速有效地的调整精确的晶圆取放位置，且通过设置的驱动组件可以对调平组件的高度进行调节，便于匹配不同晶圆尺寸在晶舟盒载物台上的不同高度，卡设组件的长度可以调节，且可以通过升降组件对卡设组件的高度进行调节，从而可以根据不同晶舟盒载物台的厚度进行调整，折弯处增加加强筋，保证安装框架的强度，不易出现形变。