基于纳米间隙SPPs操控的波前感知器件及其制备方法

本发明属于微纳光电子器件技术领域，具体公开一种基于纳米间隙SPPs操控的波前感知器件及其制备方法，包括衬底、多个金属电极对、低维材料层、隔离层以及金属纳米间隙结构；所述多个金属电极对设置于所述衬底上，各个金属电极对均与所述低维材料层的两端连接，所述低维材料层的上方设置所述隔离层，所述隔离层的上方设置所述金属纳米间隙结构。本发明提出的波前传感器实现了光场操控和光电转换于一体的结构设计，在器件小型化、高分辨精度波前感知方面具有优势。