一种高效三氯氢硅合成炉及其智能温控方法

本发明提供一种高效三氯氢硅合成炉及其智能温控方法，所述高效三氯氢硅合成炉包括反应器本体和智能温控模块；所述反应器本体包括壳体；所述壳体包括锥形区和柱形区；所述柱形区从下至上依次包括下段反应区、中段反应区和上段反应区，各反应区外侧各自独立地设置有冷却装置；所述下段反应区内设置有内件；所述智能温控模块包括温度传感器单元、智能控制单元和流量调节单元。本发明通过设置内件和智能温控模块，实现了智能化控温，有效改善了三氯氢硅合成炉中各反应区的温度均匀性，大幅度提高了三氯氢硅的转化率。