摘要
本发明涉及缺陷检测技术领域,具体涉及一种陶瓷轴承微裂纹检测装置、方法及系统。一种陶瓷轴承微裂纹检测系统,包括:陶瓷轴承待测图像获取模块、激光共振模块和陶瓷轴承微裂纹检测模块。本发明通过结合待检测陶瓷轴承的图像信息和激光激励下的共振信号信息来对陶瓷轴承的微裂纹进行检测,由于激光激励下的共振信号信息对于材料的变化更加灵敏,从而能够辅助图像识别对微裂纹进行更加精确的检测;还在待检测陶瓷轴承的图像信息的基础上对激光脉冲器的参数进行调整,避免散射效应和表面凹凸对激光激励下的共振信号信息的影响,进一步提升微裂纹检测的准确率。