一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置及其实现方法

本发明公开了一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置与实现方法，属于精密光学测量技术领域。本发明用于面阵谱域干涉检测装置包括超宽带合成光源、干涉系统、面阵光谱仪、半导体多层膜被测件等。所提出的测量方法以具有良好干涉性的超宽带合成光源，激发多层膜分层轮廓和跨尺度厚度分布全场信息，由干涉系统形成载波多参数的干涉信号，并由面阵光谱仪记录干涉信息，最后通过阵列频谱分析，同步获得多层膜分层轮廓及厚度分布信息。