摘要
本发明涉及电源技术领域,且公开了基于高密度集成的小体积大功率电源系统,包括:功率转换模块:采用三维堆叠式集成架构,将氮化镓或碳化硅功率半导体器件通过倒装芯片工艺垂直堆叠,相邻器件间采用多层金属互联线路实现电气连接;散热模块:包括微型散热鳍片阵列和微型风扇,所述微型散热鳍片阵列采用微纳加工技术一体成型。本发明中,在性能、能效、可靠性等方面优势显著,在空间利用与功率密度上,功率转换模块的三维堆叠架构和倒装芯片工艺,大幅缩小器件体积,嵌入式散热通道与微型散热鳍片阵列配合,在有限空间内实现高效散热与高功率输出,实现小体积电源大功率输出,满足设备小型化需求,提高电源的适用性。