GGNMOS器件及制造方法、芯片

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GGNMOS器件及制造方法、芯片
申请号:CN202510850365
申请日期:2025-06-24
公开号:CN120857559A
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种GGNMOS器件及制造方法、芯片,属于半导体集成电路技术领域。所述GGNMOS器件包括:衬底、形成于衬底的体区和衬底接口、以及形成于体区表面的源区、漏区和栅极,衬底接口、源区以及栅极均接地,还包括:形成于衬底接口与源区之间的深沟隔离区;深沟隔离区向衬底的底部延伸,以增加漏区在雪崩击穿时电流从源区到衬底接口的导通路径长度,使得体区与源区之间的PN结更易达到PN结正向开启电压。本发明可以通过调整深沟隔离区的深度来控制开启电压的大小,在不影响其他使用到体区的器件的性能,且GGNMOS器件的维持电压不变的情况下,调整GGNMOS器件的开启电压。
技术关键词
GGNMOS器件 衬底 接口 半导体集成电路技术 深沟槽 硅化物阻挡层 牺牲氧化层 PN结 多晶硅栅极 沟槽表面 氮化硅 氧化硅 电压 芯片 光刻工艺 刻蚀工艺 离子