基于动态温控与多模态检测的自适应光学抛光系统及方法

本发明公开了基于动态温控与多模态检测的自适应光学抛光系统及方法，本发明涉及智能制造与精密加工技术领域，所述光学抛光系统包括：动态温控与多模态检测模块、柔性执行机构、闭环控制与优化模块、跨尺度协同与泛化模块，本发明的优点在于：通过动态温控与多模态检测技术，实时监测抛光区域的温度场、表面形貌及微裂纹信号，结合柔性执行机构快速补偿热变形，有效避免传统工艺因升温引起的面形精度下降问题，多模态传感器协同工作可全面捕捉抛光过程中的多维缺陷，显著提升缺陷检测灵敏度与工艺稳定性，确保高精度光学元件的加工质量。